Принцип

Лазер

Накачка

Длила волны

Линия (линии)/ диапазон длин волн

Размер луча, мм

Режим работы

Частота Длительность Энергия/ повторения импульса мощность

Газовый

He-Ne

Разряд

Одна

632,8 нм

00,5

непр.

Неск.

He-Cd

десятков мВт

Несколько 442 нм

00,5

непр.

< 200 мВт

325 нм

< 60 мВт

Аргоновый

Разряд

Многоли-

454 нм; 514 нм

00,3-1,0

непр.

25 мВт - 25 Вт

ионный

нейчатый

488 нм

мВт - 8 Вт

514,5 нм

мВт - 10 Вт

Криптоновый Разряд

Многоли-

Много линий ИК:

1,6 Вт

ионный

нейчатый

752-800 нм

Красный:

4,6 Вт

647-677 нм

Зеленый/желтый:

3,3 Вт

520-568 нм

Синий/зеленый:

3,5 Вт

476-482 нм

Фиолетовый:

3,0 Вт

406-468 нм

УФ: 337-356 нм

2,0 Вт

Азотный

Разряд

Одна

337,1 нм

5-25x2

имп.

1-100 Гц 5-12 не

0,3-3,5 мДж

3-4x8-10

1-30 Гц 3 не

< 0,3 мДж

Диоксид

Одна

10,6 мкм

Эксимерный

углерода

F2

Разряд

Одна

157 нм

6-14x20-23

имп.

10-500 Гц 9-30 не

10-30 мДж

газовый

ArF

193 нм

150-700 мДж

KrCl

222 нм

100 мДж

KrF

248 нм

300-1200 мДж

XeCl

308 нм

150-600 мДж

XeF

351 нм

150-400 мДж

Твердо-

Nd:YAG

Импульсная

Одна

1064 нма

00,5

непр.

12-20 Вт

тельный

лампа

03-5

Модуляция

2-100 Гц 3-14 не

200-2000 мДж

добротности

Модуляция

1-40 кГц 60-300 не

0,3-2 мДж

добротности

03,5

Синхрони-

10-20 Гц 20 пс

75 мДж

зация мод

Диодный

одна

1064 нм

00,2-0,5

непр.

25 мВт - 3 Вт