Рис. 10.2-5. РЭМ: Изображение во вторичных электронах углеродной частицы пыли, иллюстрирующее высокое разрешение и глубину резкости.

объекта, которое мы видим в стереомикроскоп. Однако между ними есть два существенных различия:

— Пространственное разрешение изображения во вторичных электронах составляет около Знм (в оптическом микроскопе — около 1мкм), поэтому можно достичь увеличения до 100000. Причина этого заключается в том, что глубина области, из которой вылетают вторичные электроны, всего около 10 нм. В пределах такой глубины расфокусировка первичного пучка незначительна и пространственное разрешение практически равно диаметру пучка.

— Глубина резкости на несколько порядков выше, чем для оптического микроскопа, потому что для формирования изображения используется практически параллельный пучок электронов. Большая глубина резкости позволяет получать изображения неровных образцов. РЭМ стала одним из важнейших методов микроанализа и анализа поверхности, расширив область классической микроскопии улучшением пространственного разрешения почти на три порядка.

□ В растровой электронной микроскопии глубина резкости на несколько порядков выше, чем в оптической микроскопии.

В результате электронного возбуждения внутренних уровней образуются ионы в возбужденном состоянии, поскольку на внутренней орбитали возникает вакансия. Ионизированный атом, следовательно, немедленно переходит (в течение Ю-8—Ю-13 с) в состояние с меньшей энергией посредством перехода электрона с верхнего (более низкая Есв) на нижний уровень (более высокая Есв). Энергия, соответствующая разности энергий между этими уровнями АЕ = Есв(1) — Есв(2)> испускается в виде либо кванта рентгеновского излуче-

Copyright © 2007-2012 Zomber.Ru

Использование материалов сайта возможно при условии указания активной ссылки
Решить химию