Рис. 10.2-7. Вероятность процессов рентгеновского излучения и испускания оже-электронов в зависимости от атомного номера (релаксация первого внутреннего ls-электронного уровня — К-оболочка).

□ Рентгеновская флуоресценция и оже-электронная эмиссия являются конкурирующими процессами.

Выход оже-электронов и рентгеновской флуоресценции сильно зависит от атомного номера для данного ионизирующегося внутреннего уровня:

ах + Z4

где ах—постоянная для данного уровня.

ак = 106, аь = Ю8

На рис. 10.2-7 изображена зависимость функций выхода от атомного номера для ионизации в К-оболочке. Если Z < 33, преобладает эмиссия оже-электронов. Как оже-электроны, так и рентгеновские сигналы используют для количественного элементного анализа. Этот вопрос мы обсудим в главах, посвященных рассмотрению соответствующих методов.

10.2.2. Электронно-зондовый микроанализ (ЭЗМА) и растровая электронная микроскопия (РЭМ)

□ РЭМ и ЭЗМА являются наиболее важными физическими методами, используемыми в массовом масштабе.

Хотя эти методы все еще традиционно рассматриваются раздельно, в сегодняшней реальности это различие исчезает: РЭМ используют для получения изображения, ЭЗМА — в целях элементного анализа, но оба метода реализуют в одном приборе (с различными приставками). В этой главе термином ЭЗМА будем обозначать метод, основанный на использовании вторичных и отраженных электронов, а также рентгеновских сигналов.

На рис. 10.2-8 изображена конфигурация современного растрового электронного микроскопа. Электронный пучок формируется в результате эмиссии с катода из вольфрама или гесксаборида лантана (ЬаВб). Электроны ускоряются до энергий от 1 до 50 кэВ. Ток зонда составляет от 10 пА до 1 мкА. При помощи системы электромагнитных линз пучок фокусируется до диаметра от 1 до 100 нм и направляется на поверхность образца. Точка анализа, линия и область сканирования задаются при помощи генератора развертки пучка.

Copyright © 2007-2012 Zomber.Ru

Использование материалов сайта возможно при условии указания активной ссылки
Решить химию