Решение задач по химии. Учебник по аналитической химии

Рис. 10.2-15. ОЭС: Послойный анализ (распределительный анализ по глубине) исходной поверхности посредством сочетания ионного распыления и анализа оже-электронов.

этого подхода проиллюстрирован на рис. 10.2-15. Сфокусированным пучком ионов Аг+ с кинетической энергией 3-10 кэВ и диаметром от 1 до 100 мкм сканируют исследуемую прямоугольную или квадратную область. Поверхностные атомы удаляются в результате передачи энергии при столкновениях. Скорость травления зависит от плотности потока ионов и обычно составляет 0,1-10 нм/с. В результате на поверхности образуется кратер. Образовавшаяся поверхность кратера облучается потоком электронов по центру кратера, образовавшиеся оже-электроны далее анализируют. Таким образом, исследуют плоскую центральную часть кратера и достигают широкого динамического диапазона по глубине (получают профили, не искаженные эффектами стенок кратера). Распыление и анализ можно проводить одновременно или последовательно. «Черновой» профиль получают, записывая интенсивности оже-сигналов как функцию времени травления. Переход от интенсивностей сигналов к концентрации проводят с использованием коэффициентов чувствительности. Градуировку по шкале глубины проводят, используя информацию о скоростях травления, или, что лучше, измеряя профилометром глубину кратера после анализа. Так как коэффициенты распыления зависят от химического состава, возникают проблемы с градуировкой, если состав сильно меняется по глубине или в случае, когда система состоит из нескольких слоев. Тогда каждый слой следует градуировать отдельно.

Другим значительным артефактом является селективное распыление, которое означает индуцированное распылением изменение поверхностного состава, когда различные элементы, находящиеся в зоне травления, характеризуются различными коэффициентами распыления. Например, в сплаве А-В коэффициент распыления элемента А больше, чем элемента В. При травлении поверхность обогащается элементом В. В таких случая требуется корректировка градуировки введением множителя, учитывающего отношение коэффициентов распыления.

Еще ряд проблем возникает при послойном анализе пространственно неоднородных материалов (включений в матрице, приводящих к различным химическим составам в пределах зоны облучения). Если коэффициент распыления элемента включения отличен от коэффициента распыления элементов матрицы, при распылении образуется поверхностный профиль (разность высот) меж-

Если нужно решить контрольную по химии - обращайтесь к нам
Поможем быстро и качественно решить задачи по химии, выполнить контрольную работу или написать реферат. Консультируем по химии онлайн.

Использование материалов сайта возможно при условии указания активной ссылки
Решить химию

Главная страница сайта	Услуги решения задач по химии
Лекции по химии	Учебник - общая химия