§ .=-500 «I

В 0 400

«"> о. сн

е §зоо

S 5 1 &

g, s zoo

$3

§ 5 юо SI

в

о.

Энергия еи МэВ 2.0 2.1 2.2

2.3

2.4

100 200 300

Номер канала

400

Ри'с. 10.3-3. POP: Спектр обратного рассеяния мишени с монослойным покрытием из Au, Ag и Си на кремниевой подложке, показывающий зависимость потерь энергии от массы мишени; Е0 = 2,5 МэВ [10-5]. (ПШПВ — полуширина на половине высоты пика.)

0.3 0.2 0.1

I ■ * ■

Глубина, мкм

Потери энергии Ео

АД,,

t

-I"

• А£„

ДЕ,«(1-К)Е,

dE t dx I' cose E,

Рис. 10.3-4. POP: Слагаемые потерь энергии для частицы, рассеивающейся на глубине t; потери энергии Д£Вх и ДЕ^вых обусловлены неупругими взаимодействиями с электронами, АЕа — потери энергии при упругом рассеянии [10-5].

мишени налетающий ион теряет часть кинетической энергии еще до упругого взаимодействия. Такие потери энергии также происходят, когда ион гелия, рассеянный от атома мишени на некотором расстоянии от поверхности, возвращается к поверхности. Потери энергии вследствие неупругих взаимодействий с электронами достаточно малы по сравнению с переносом энергии при упругом рассеянии. Например, для ионов гелия с энергиями 2 МэВ, бомбардирующими атомы алюминия, потери энергии вследствие неупругих взаимодействий dE/dx составляют 30эВ/А, в то время как энергия, передающаяся атомам алюминия при упругих столкновениях, приводящих к обратному рассеянию, составляет 900 кэВ.

На рис. 10.3-4 схематично представлен энергетический баланс налетающей частицы, обратно рассеянной от атомов мишени на глубине г от поверхности. Когда налетающая частица входит под поверхность и достигает атома, на котором происходит рассеяние, потеря ее энергии составляет АЕт ~ dE/dt\e0't.

На глубине t (в месте рассеяния) частица уже не имеет энергию Ео, как на поверхности, а обладает энергией Et:

Et = Ео — АЕВК

Copyright © 2007-2012 Zomber.Ru

Использование материалов сайта возможно при условии указания активной ссылки
Решить химию