Решение задач по химии. Учебник по аналитической химии

АЕВХ (22эВ/А) +АЕВЫХ (23эВ/А) и потерями энергии при упругом рассеянии (250 кэВ). Таким образом, пик рассеяния от нижнего слоя Au появляется при Ei и 2,570 МэВ.

Высокоэнергетический край сигнала рассеяния алюминия находится при 1,64 МэВ. Положение низкоэнергетического края определяется неупругимн потерями энергии влетающей (22 эВ/А) и вылетающей (29эВ/А из-за меньшей кинетической энергии) частиц плюс упругими потерями энергии (испытываемыми на нижнем атомном слое алюминиевой пленки). С учетом этих потерь нижний край пика алюминия в спектре рассеяния располагается при 1,36 МэВ.

□ Разрешение по глубине спектрометрии резерфордовского обратного рассеяния составляет 20-50 нм.

Послойный анализ методом POP успешно применяют для изучения тяжелых легирующих атомов в полупроводниках (например, Sb в кремнии). Разрешение по глубине находится в пределах 20-50 нм и в целом не является настолько хорошим, как разрешение, получаемое в методах, основанных на распылении, например МСВИ.

После обсуждения вопросов, касающихся энергии рассеянных ионов, рассмотрим интенсивности пиков в спектре рассеяния. Вероятность того, что налетающий ион в результате упругого столкновения претерпит обратное рассеяние, определяется дифференциальным сечением рассеяния dcr/dfi.

Измеренную интенсивность можно выразить как

где I—(интегральная) интенсивность сигнала рассеяния, N — число атомов мишени на единицу площади (на см2, т. е. поверхностная плотность, равная произведению атомных концентраций (на см3) на толщину слоя), ДП —телесный угол сбора детектора, Q — полное число выпущенных частиц.

□ Процедура количественного анализа является прямой, поскольку рассеяние на зависит от химических связей атома мишени (отсутствуют химические матричные эффекты).

Поскольку величину da/dCl можно вычислить из фундаментальных параметров или определить экспериментально с помощью образцов сравнения, процедура количественного анализа является очевидной и простой. Величину ДП можно определить экспериментально для конкретной геометрии детектора, ток зонда можно измерить в процессе эксперимента. Важно отметить, что акты обратного рассеяния являются результатом столкновения ядер, и на них не влияют химические связи определяемого элемента. Таким образом, POP является количественным методом анализа поверхности, свободным от влияния матричных эффектов.

Процедура количественного анализа упрощается, если речь идет о типичной задаче, решаемой POP, — определение состава (стехиометрии) тонких пле-

Если нужно решить контрольную по химии - обращайтесь к нам
Поможем быстро и качественно решить задачи по химии, выполнить контрольную работу или написать реферат. Консультируем по химии онлайн.

Использование материалов сайта возможно при условии указания активной ссылки
Решить химию

Главная страница сайта	Услуги решения задач по химии
Лекции по химии	Учебник - общая химия