Главная страница сайта | Услуги решения задач по химии |
Лекции по химии | Учебник - общая химия |
АЕВХ (22эВ/А) +АЕВЫХ (23эВ/А) и потерями энергии при упругом рассеянии (250 кэВ). Таким образом, пик рассеяния от нижнего слоя Au появляется при Ei и 2,570 МэВ.
Высокоэнергетический край сигнала рассеяния алюминия находится при 1,64 МэВ. Положение низкоэнергетического края определяется неупругимн потерями энергии влетающей (22 эВ/А) и вылетающей (29эВ/А из-за меньшей кинетической энергии) частиц плюс упругими потерями энергии (испытываемыми на нижнем атомном слое алюминиевой пленки). С учетом этих потерь нижний край пика алюминия в спектре рассеяния располагается при 1,36 МэВ.
□ Разрешение по глубине спектрометрии резерфордовского обратного рассеяния составляет 20-50 нм.
Послойный анализ методом POP успешно применяют для изучения тяжелых легирующих атомов в полупроводниках (например, Sb в кремнии). Разрешение по глубине находится в пределах 20-50 нм и в целом не является настолько хорошим, как разрешение, получаемое в методах, основанных на распылении, например МСВИ.
После обсуждения вопросов, касающихся энергии рассеянных ионов, рассмотрим интенсивности пиков в спектре рассеяния. Вероятность того, что налетающий ион в результате упругого столкновения претерпит обратное рассеяние, определяется дифференциальным сечением рассеяния dcr/dfi.
Измеренную интенсивность можно выразить как
I = N^MIQ
где I—(интегральная) интенсивность сигнала рассеяния, N — число атомов мишени на единицу площади (на см2, т. е. поверхностная плотность, равная произведению атомных концентраций (на см3) на толщину слоя), ДП —телесный угол сбора детектора, Q — полное число выпущенных частиц.
□ Процедура количественного анализа является прямой, поскольку рассеяние на зависит от химических связей атома мишени (отсутствуют химические матричные эффекты).
Поскольку величину da/dCl можно вычислить из фундаментальных параметров или определить экспериментально с помощью образцов сравнения, процедура количественного анализа является очевидной и простой. Величину ДП можно определить экспериментально для конкретной геометрии детектора, ток зонда можно измерить в процессе эксперимента. Важно отметить, что акты обратного рассеяния являются результатом столкновения ядер, и на них не влияют химические связи определяемого элемента. Таким образом, POP является количественным методом анализа поверхности, свободным от влияния матричных эффектов.
Процедура количественного анализа упрощается, если речь идет о типичной задаче, решаемой POP, — определение состава (стехиометрии) тонких пле-
|
Если нужно решить контрольную по химии - обращайтесь к нам |
Copyright © 2007-2012 Zomber.Ru
Использование материалов сайта возможно при условии указания активной ссылки
Решить химию