Решение задач по химии. Учебник по аналитической химии

нок на легких подложках, например силицидов металлов на кремнии. В этом случае измеряют отношение интенсивностей (обычно) двух элементов:

Ia = NA ста /в Nb о~в Поскольку о пропорционально Z2, можно записать:

Интегральная интенсивность представляет собой произведение ширины пика (АЕ) на высоту пика (Н). Для тонких пленок ширина пика АЕ постоянна для обоих элементов, следовательно:

Используя этот простой способ, можно достичь погрешности анализа около 5%. Для более высокой правильности нужно проводить интегрирование пиков и использовать точные значения сечений рассеяния. В этом случае состав тонких пленок можно определить с погрешностью 1-2%.

Если из спектров POP можно оценить глубину и количественную информацию, то можно проводить и (неразрушающий) количественный послойный анализ и определение характеристик тонких пленок (по глубине). На рис. 10.3-6 приведен пример, в котором методом POP определяли стехио-

Рис. 10.3-6. POP: Спектры обратного рассеяния ионов на кремнии с тонкой пленкой никеля (1000 А), о — в случае четкой границы; б — после отжига, приведшего к образованию более толстого слоя N12 Si. Оценив АЕ из толщины пленки и зная интегральные площади пиков (заштрихованная область), можно определить стехиометрию слоя силицида, образовавшегося при отжиге [10-5].

Если нужно решить контрольную по химии - обращайтесь к нам
Поможем быстро и качественно решить задачи по химии, выполнить контрольную работу или написать реферат. Консультируем по химии онлайн.

Использование материалов сайта возможно при условии указания активной ссылки
Решить химию

Главная страница сайта	Услуги решения задач по химии
Лекции по химии	Учебник - общая химия