Главная страница сайта Услуги решения задач по химии
Лекции по химии Учебник - общая химия


метрию слоя силицида никеля, образовавшегося при отжиге пленки никеля (1000 А) на кремнии. После отжига наблюдали увеличение ширины пика никеля АЕ, свидетельствующее о том, что зона поверхности, в которой содержится никель, расширилась. Далее, произошел сдвиг сигнала рассеяния кремния в сторону более высоких энергий на величину &si • Ео,то есть произошла диффузия кремния в слой никеля на всем протяжении поверхности. Зная A£jsi и Д-Етсь можно определить толщину вновь образовавшегося слоя силицида, вычислив потери энергии. Стехиометрию силицида никеля можно определить при помощи интенсивностей пика кремния (заштрихованная область) в пленке и никеля, как описано ранее.

□ Метод POP является неразрушающим.

Для исследования подобного рода обычно выбирают спектрометрию ре-зерфордовского обратного рассеяния не только потому, что он является недеструктивным (число атомов, удаляемых с поверхности в результате упругого рассеяния, практически незначимо), но и благодаря экспрессности и точности. Необходимо отметить, что преимущества метода POP особенно четко проявляются при анализе тяжелых атомов на легких подложках. Только в этом случае аналитические пики отделены от сигнала подложки. В случае пленок, состоящих из легких элементов на тяжелой матрице, аналитические сигналы располагаются на фоне значительного фонового сигнала подложки, что существенно затрудняет расчеты и делает их менее точными. Чувствительность метода по отношению к легким элементам также гораздо хуже, поскольку сечение а пропорционально Z2. Другое ограничение при анализе тонких пленок заключается в толщине пленок. Толщина пленок не должна превышать 0,5-1 мкм, потому что в противном случае потери энергии вследствие неупругих взаимодействий будут слишком велики.

Спектрометрия рассеяния ионов низких энергий (рассеяние медленных ионов, РМИ)

□ Спектрометрия рассеяния ионов низких энергий является единственным методом, дающим информацию исключительно о верхнем монослое поверхности вне зависимости от состава подложки.

Спектрометрия рассеяния ионов низких энергий (рассеяния медленных ионов, РМИ) занимает особое место среди методов анализа поверхности, поскольку рассеяние происходит исключительно на первом атомном слое поверхности образца. Так происходит потому, что ионы благородных газов низких энергий, проникая в твердое тело, нейтрализуются (вследствие их высокого потенциала ионизации) при неупругих электронных взаимодействиях. Таким образом, можно зарегистрировать только те ионы, которые претерпевают упругие столкновения непосредственно на поверхности твердого тела. РМИ является единственным методом, чувствительным к верхнему монослою, независимо от того, какие атомы находятся в глубине образца. Монослойной чувствительности в других методах можно достичь только в том случае, если поверхностный слой отличается по составу от нижележащих слоев (например, пленка адсорбированных молекул на металлической поверхности).



 

Вернуться в меню книги (стр. 301-400)

 

Если нужно решить контрольную по химии - обращайтесь к нам
Поможем быстро и качественно решить задачи по химии, выполнить контрольную работу или написать реферат. Консультируем по химии онлайн.

 

Copyright © 2007-2012 Zomber.Ru

Использование материалов сайта возможно при условии указания активной ссылки
Решить химию