Решение задач по химии. Учебник по аналитической химии

Рис. 10.3-7. Изображение кратера, полученного при распылении и анализе методом МСВИ многослойного материала AlGaAs/GaAs. Фотография получена с помощью атомно-силового микроскопа. Чешуйчатая структура образовалась при бомбардировке ионами с энергией 12 кэВ [10-3.1]. Размер изображения: 5 мкмхб мкм, шкала глубин: 300 нм от черного до белого.

происходит перемещение атомов мишени на большую глубину материала. Эффекты столкновений ионов, вызывающих перемещение атомов, приводят к тому результату, что изначально четкая граница между двумя слоями расширяется при послойном анализе (перемешивание атомов отдачи и каскадное перемешивание). Эффект уширения первоначально резкой границы характеризуется так называемой глубиной распада (decay length), т. е. расстоянием между положением максимума профиля и частью его интенсивности равной 1/е. Перемешивание атомов отдачи и каскадное перемешивание накладывают физические пределы на разрешение по глубине. Эти факторы нельзя устранить полностью, а можно лишь уменьшить (например, работая при скользящих углах падения ионов или уменьшая энергию первичных ионов). При оптимальных для разрешения по глубине условиях можно достичь значений глубины распада около 2-3 нм.

□ Анализ необработанных данных, получаемых методом распыления, является трудной задачей.

Однако всегда следует помнить, что каждый профиль, получаемый в результате распыления, на самом деле уширен в определенной степени по сравнению с реальным распределением. Тем не менее несмотря на вышеупомянутые артефакты, распыление является единственным реальным способом контролируемого удаления поверхностных слоев для анализа. Это не только хороший способ очистки поверхности перед анализом, но и основа разрушающего послойного анализа. Три основных метода анализа поверхности (ЭОС, РФЭС и МСВИ) опираются на ионное распыление. Следствием сложности и недостаточно полного описания процессов распыления является тот факт, что при любом анализе результаты следует проверять очень тщательно на предмет раз-

Если нужно решить контрольную по химии - обращайтесь к нам
Поможем быстро и качественно решить задачи по химии, выполнить контрольную работу или написать реферат. Консультируем по химии онлайн.

Использование материалов сайта возможно при условии указания активной ссылки
Решить химию

Главная страница сайта	Услуги решения задач по химии
Лекции по химии	Учебник - общая химия