Главная страница сайта Услуги решения задач по химии
Лекции по химии Учебник - общая химия


масс-спектрометра с двойной фокусировкой. После разделения ионов в магнитном анализаторе вторичные ионы детектируются при помощи электронного умножителя или цилиндра Фарадея.

□ Информацию о пространственном распределении можно получить либо сканируя первичный ионный пучок по анализируемой поверхности, либо при помощи микроскопа.

Изображение во вторичных ионах можно получить двумя способами:

— осуществляя развертку тонко сфокусированного пучка по поверхности образца и контролируя вторичную электронную эмиссию как функцию положения пучка при помощи электронного умножителя. При этом можно достичь разрешения около 100 нм, но проведение послойного анализа требует времени, так как его проводят последовательно от точки к точке поверхности;

— используя возможности получения и обработки микроскопного изображения этого типа ионных микроанализаторов. Поверхность образца облучают широким пучком первичных ионов (например, диаметром 300 мкм) и пространственное распределение вторичной ионной эмиссии проектируют на экран изображения (например, канальную пластину с флуоресцентным экраном). Режим микроскопного наблюдения характеризуется пространственным разрешением около 1 мкм, но большей скоростью послойного анализа, поскольку атомные слои удаляются одновременно со всей анализируемой поверхности. Магнитные секторные масс-спектрометры обладают более высоким разрешением (М/АМ < 20000), чем квадрупольные масс-спектрометры (М/АМ < 1000), которые также часто используются. Высокое разрешение является огромным преимуществом при разделении мешающих сигналов в сложном масс-спектре.

□ Спектры МСВИ являются очень сложными.

На рис. 10.3-11 приведен в качестве примера спектр положительных вторичных ионов технического материала (твердого металлического WC-TiC-TaC-NbC-Co), полученный при бомбардировке кислородом. В обзорном СПеК-

CI^ Е0 = 5,5кэВ

Рис. 10.3-11. МСВИ: Масс-спектр твердого металлического WC-TiC-TaC-NbC-Со, содержащего в качестве примеси фосфор (концентрация в объеме 2-3 мкг/г), полученный при бомбардировке ионами кислорода (Oj) с энергией 5,5 кэВ [10.3-6].

10 1090405050 70 5080

ISO «Я 216 120



 

Вернуться в меню книги (стр. 301-400)

 

Если нужно решить контрольную по химии - обращайтесь к нам
Поможем быстро и качественно решить задачи по химии, выполнить контрольную работу или написать реферат. Консультируем по химии онлайн.

 

Copyright © 2007-2012 Zomber.Ru

Использование материалов сайта возможно при условии указания активной ссылки
Решить химию