тре (низкого разрешения) содержатся пики практически для каждой величины т/е, большей 5. Большое количество пиков возникает вследствие эмиссии атомных ионов (например, Ti+ при т/е = 48), кластерных ионов (TiJ при т/е = 96), оксидных ионов, возникших при бомбардировке кислородом (ТЮ+ при т/е = 64), других «молекулярных» частиц (TiC+ при т/е = 60), многозарядных частиц (Ti2+ при т/е = 24). Кроме того, почти каждый элемент имеет несколько изотопов, что приводит к появлению еще большего числа пиков в масс-спектре.

В динамическом варианте МСВИ также используют квадрупольные масс-спектрометры вместо секторных приборов. Эти спектрометры проще, но обладают разрешением всего около 800 и более низким пропусканием. Главная особенность масс-спектрометрии — высокие возможности детектирования, очевидные из динамического диапазона масс-спектра, достигающего 1010. Это означает, что в одном спектре можно увидеть сигналы как основных, так и ультраследовых компонентов.

Количественная обработка масс-спектров вторичных ионов базируется на использовании выражения, описывающего генерацию сигнала:

= 7Р • С\ ■ У • а+(-> • f(AE) ■ /(АГ2) • Т ■ 0

где /д —измеренная интенсивность сигнала ионов (ион/с); /р —интенсивность первичного ионного пучка (ион/с); С\ —изотопная концентрация определяемого элемента (СА = Сд • т]\, г]\ — распространенность изотопа); У — (полный) выход продуктов распыления (атом/первичная частица); а^~^ — выход ионизации; f(AE)—доля ионизированных частиц внутри энергетического интервала АЕ (энергетического окна), которые могут достигнуть масс-спектрометра; /(ДГ2) —доля ионизированных частиц, испускаемых с поверхности под углами в пределах АП (телесный угол сбора окна), которые могут достигнуть масс-спектрометра; Г — пропускание масс-спектрометра; 0 — эффективность ионного детектора.

Типичные значения этих параметров:

/р < 1013 ион/с У = 0,5-20

aJH = Ю-1 - Ю-4

f(AE) • /(АГ2) • Т ■ Р и 10_1-10_3 (зависит от массового разрешения).

□ Химическое влияние матрицы может изменять интенсивности сигналов на несколько порядков.

Главная проблема количественного анализа в МСВИ заключается в том, что выходы распыления и вторичных ионов сильно зависят от химического состава образца. Этот так называемый «матричный эффект» может достигать нескольких порядков величины для случая распыления ионами благородных газов. Поэтому используют ионы кислорода, галлия и цезия, которые могут влиять на химический состав поверхности определенным образом посредством

Copyright © 2007-2012 Zomber.Ru

Использование материалов сайта возможно при условии указания активной ссылки
Решить химию